一般臭氧发生器产生的高浓度臭氧使用基于紫外线的臭氧检测仪准确可靠地测量。紫外臭氧检测仪将以mg/L、g/m3或%重量为单位测量臭氧。 

一个供气流量计测量流经臭氧发生器的总氧气或干燥空气供气的任何流量测量设备。这将测量气体的体积并提供气体的总质量以确定臭氧总产量。

一个臭氧气体流量计将调节流经臭氧检测仪的臭氧气体量。大多数基于紫外线的臭氧检测仪的额定气体流量为1 LPM。因此，当处理总气体流量大于1 LPM时，臭氧气体需要建立旁路。该臭氧气体流量计将用于控制和调节通过臭氧检测仪的臭氧气体流量。

一个臭氧破坏装置将用于在紫外线臭氧检测仪之后安全地催化所有臭氧恢复为氧气。这将允许在安全的环境中测量臭氧。

上图提供了如何配置此设备的示例。可能是测试臭氧发生器的临时设置，或者是大型臭氧系统的组成部分。