市面上常用臭氧发生器的工作原理是电晕放电，当臭氧通过电晕放电产生时，电晕电池必须使用阳极、阴极和介电阻挡材料。当今使用的材料种类繁多，每种材料都有独特的优点和缺点。

 

陶瓷电介质以多种形式使用。大多数平板臭氧发生器都使用陶瓷电介质，使用薄方片并密封在侧面有间隙的扁平阳极和阴极上。

陶瓷涂层在某些臭氧发生器中用作介电屏障。这些通常是同心管中的圆管。

同心陶瓷管用于一些管式臭氧发生器。这些厚度范围很大。

 

玻璃用于许多较旧的管式臭氧发生器。玻璃在成分上可能不太一致，因此在当前的许多臭氧发生器中并不常用

石英用于许多同心管臭氧发生器。石英提供一致的电介质和出色的耐热性。石英上的沉积物不像在陶瓷上那样容易形成，而且如果需要，石英更容易清洁。

石英可以形成多种形状，以便在电晕电池设计中具有更大的灵活性.一些臭氧发生器使用双石英电介质设计，使臭氧气体不会接触阳极或阴极。这种配置消除了对阳极或阴极结构的关注。

 

臭氧发生器结构中很常见的材料是不锈钢。现成、合理的耐臭氧性和低成本使不锈钢成为大多数臭氧发生器结构的。不锈钢用于许多臭氧发生器中的阳极和阴极材料。

不锈钢非常耐臭氧，但不是很好的热导体。

 

铝用于许多风冷臭氧发生器和一些风冷臭氧发生器。铝是热的重要导体，使用较新的铝材料非常耐臭氧。铝不能很好地抵抗臭氧副产物，因此通常只与氧气原料气一起使用。

 

钛在一些臭氧发生器中用作阳极材料。钛在磨损、材料兼容性和传热方面提供了很好的折衷方案。