原则上，通过紫外吸收测量臭氧不需要外部校准；这是一种的方法。然而，光电二极管响应和电子器件的非线性会导致小的测量误差。因此，在实验室中，每台仪器都与NIST可追踪的标准臭氧分光光度计在不同的臭氧混合比范围内进行比较。这些结果用于根据偏移和斜率（增益或灵敏度）校准臭氧检测仪。偏移和斜率的校正记录在仪器出生证明中。这些校准参数在装运前输入微处理器。如果需要，用户可以从前面板更改校准参数。建议每年至少重新校准一次仪器，很好更频繁。由于吸收池的温度变化或化学污染，偏移可能会漂移。如下所述，可使用随仪器提供的外部臭氧洗涤器不时测量精确的偏移校正。

仪器的电子零点可以通过将臭氧破坏筒连接到空气入口5-10分钟来测量。为了准确测量，仪器必须打开足够长的时间，使内部温度稳定（通常约20分钟）。可以通过更改前面板上的偏移校准参数（Z）来校正观察到的偏移，偏移量可以达到±几个ppb。