基于电晕放电的臭氧发生器的进料气体的水分含量与臭氧输出量直接相关。更多的水分等于更低的臭氧输出。见下图：
 

 

相对臭氧输出与空气露点

 

随着露点的增加，相对臭氧输出量减少。

 

所有电晕放电臭氧系统的关键是适当的空气准备。一般我们在实验室内，为了提高臭氧的浓度，会选择使用氧气瓶提供气源，但大部分工业使用，特别是潮湿环境，需要带干燥功能的臭氧发生器。

因为由于水分的存在，会影响臭氧的产生并导致硝酸的形成，因此供给臭氧发生器的气体必须非常干燥。硝酸对基于电晕放电的臭氧发生器的关键内部部件具有很强的腐蚀性，可能导致过早失效，并且会增加所需维护的频率，因此干燥空气对于臭氧的输出至关重要。