将臭氧应用到新应用中的一个常见问题是臭氧将如何影响我们现有的材料。下面是一个有用的图表，显示了常见材料对臭氧氧化的抵抗力。
A =优秀 - 在正常操作中不受臭氧影响
B =良好 - 一些来自臭氧的氧化，这些材料可以在低臭氧浓度或短期（少于6个月）的情况下使用
C =一般 - 臭氧氧化的主要影响，这些材料应仅用于短期应用或极低的臭氧水平
D =差 - 很快就会注意到臭氧的严重氧化。
| ABS塑料 | B - 很好 |
| Acetal（Delrin®） | C - 公平 |
| 铝 | A - 很棒 |
| 黄铜 | B - 很好 |
| 青铜 | B - 很好 |
| Buna N（丁腈橡胶） | D - 差 |
| 碳素钢 | C - 公平 |
| 铸铁 | C - 公平 |
| 陶瓷的 | A - 很棒 |
| ChemRaz（FFKM） | B - 很好 |
| 铜 | A - 很棒 |
| CPVC | A - 很棒 |
| EPDM | B - 很好 |
| 碳氟化合物（FKM） | A - 很棒 |
| 哈氏合金C？ | A - 很棒 |
| HDPE | B - 很好 |
| 海帕伦 | A - 很棒 |
| HYTREL® | C - 公平 |
| 全氟醚橡胶 | A - 很棒 |
| 凯尔 - F® | A - 很棒 |
| LDPE | C - 公平 |
| 天然橡胶 | D - 差 |
| 氯丁橡胶 | C - 公平 |
| 改性聚苯醚 | B - 很好 |
| 尼龙 | D - 差 |
| 聚碳酸酯 | A - 很棒 |
| 聚醚醚酮（PEEK） | A - 很棒 |
| 聚乙烯 | B - 很好 |
| 聚丙烯 | B - 很好 |
| 聚氨酯 | A - 很棒 |
| PTFE | A - 很棒 |
| PVC | C - 很差 |
| PVDF（Kynar®） | A - 很棒 |
| 有机硅 | A - 很棒 |
| 不锈钢 - 304 | B - 很好 |
| 不锈钢 - 316 | A - 很棒 |
| 钛 | A - 很棒 |
| TYGON | B - 很好 |
| 氟橡胶 | A - 很棒 |
