紫外线法臭氧发生器的制造原理：
紫外光会使氧气分子 O2 分解并合成臭氧 O3 ，人们周围的臭氧以及地球上空的臭氧层就是这么产生的。
但并不是所有波长的紫外线都产生臭氧，波长 λ ＝ 185nm的紫外光效率 很高，此时，光量子被 O2 吸收率 很大，产生的臭氧也 很多。这个波长的紫外灯管才被用来制作臭氧发生器。
其反应基本过程为：
O2 ＋ hr→ O+O     O2 +O→ O3     hr －紫外光量子
使用 185nm 紫外光产生臭氧的光效率虽然高达 130gO3 /kwh ，但目前可用的低压汞紫外灯的电-光转换效率很低，只有 0.6 ％- 1.5 ％，紫外法产生臭氧的电耗高达 600kwh/kgO3 ，即 1.5gO3 /kw. H，而目前北京同林蓝氧实际工业应用的电晕法产生臭氧的功耗则为130g/kw.h以上。工业上的紫外法臭氧发生器应用价值不大。
紫外法臭氧发生器在实际中的应用如下：
1、  稳定：紫外法产生臭氧的优点是对湿度、温度不敏感，具有很好的稳定性。
2、  可精确控制浓度：可以通过控制紫外灯功率线性控制臭氧浓度、产量。一般紫外灯臭氧发生器都会配一个功率调节器，更能适用于实验室。
3、  产生低浓度臭氧：紫外法可以稳定产生几个PPm甚至PPb级别的臭氧气体，其他臭氧制备方法。
所以，它可以应用于臭氧用于人体治疗、仪器的臭氧标准源或者为大气研究者提供精准的低浓度臭氧气体。