M系列高精度臭氧发生器是北京同林专为高校以及研究单位研制开发的高精度实验型臭氧发生器，该系列臭氧发生器目前有三个型号，分别为M1000、M2000和M5000型。可以稳定输出从1到100mg/L以上的臭氧气体，波动范围小于0.1mg/L。
图为清华大学调试现场。